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| IN | OEM Part No. | Part No. | Description | ||||||||||||||||||||
| 51 | 15-113064-00 | 14-02027 | Nozzle, Injector, Single | ||||||||||||||||||||
| 52 | 15-120150-03 | 14-02028 | Tube, Injector, 0.50, Hi Purity | ||||||||||||||||||||
| 53 | 15-158185-00 | 14-02029 | Injector, Tube, Clean, HDP, Hi-Purity | ||||||||||||||||||||
| 54 | 15-161585-00 | 14-02030 | Nozzle, Injector, Split, SPD-S | ||||||||||||||||||||
| 55 | 15-257942-22 | 14-02031 | Nozzle, Injector, Split | ||||||||||||||||||||
| 56 | 16-00098-00 | 14-02033 | Wire, Insulated, Ceramic Bead, Long |
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| 57 | 16-00123-00 | 14-02034 | Bellows, Welment | ||||||||||||||||||||
| 58 | 16-257038-00 | 14-02036 | Showerhead, 200 mm, AL3003 | ||||||||||||||||||||
| 59 | 17-00148-00 | 15-02001 | Spring, Fork | ||||||||||||||||||||
| 60 | 19-00056-00 | 15-02002 | Assy, Feedthrugh | ||||||||||||||||||||
| 61 | 19-00266-01 | 15-03266 | Motor, Extension, C1 |
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| 62 | 19-00267-01 | 15-03267 | Motor, Rotation, C1 |
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| 63 | 19-00268-01 | 15-03268 | Motor, Lift, C1 |
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| 64 | 19-00307-00 | 15-02006 | Bellows, Lift Pin | ||||||||||||||||||||
| 65 | 19-033267-00 | 15-02007 | Bellows, Lift Pin |
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| 66 | 19-034573-04 | 15-02009 | Bearing, Linear/Rotary 1" WTM | ||||||||||||||||||||
| 67 | 20-00153-00 | 15-02011 | Ball Heater Support 2" Ceramic | ||||||||||||||||||||
| 68 | 20-00299-00 | 15-02012 | Screwdriver,Torque |
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| 69 | 21-106421-01 | 15-02013 | Cylinder, Concentric,SPD-S | ||||||||||||||||||||
| 70 | 22-00179-00 | 15-02014 | Elbow Union 3/8" O-Seal | ||||||||||||||||||||
| 71 | 22-10369-00 | 15-02015 | Indexer Rotate Cylinder | ||||||||||||||||||||
| 72 | 22-132390-00 | 15-02016 | Vacuum Pressure Sensor Switch | ||||||||||||||||||||
| 73 | 27-00010-01 | 15-02017 | Thermocouple Type J 1/8" | ||||||||||||||||||||
| 74 | 27-00062-00 | 15-02018 | Guage, Vacuum Pressure, TC | ||||||||||||||||||||
| 75 | 27-00079-00 | 15-02019 | Thermocouple Type J 1/16" | ||||||||||||||||||||
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