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| IN | OEM Part No. | Part No. | Description | ||||||||||||||||||||
| 51 | 15-158185-00 | 14-02028 | Injector, Tube, Clean, HDP, Hi-Purity | ||||||||||||||||||||
| 52 | 15-161585-00 | 14-02029 | Nozzle, Injector, Split, SPD-S | ||||||||||||||||||||
| 53 | 15-257942-22 | 14-02030 | Nozzle, Injector, Split | ||||||||||||||||||||
| 54 | 16-00092-00 | 14-02031 | Wire, Insulated, Ceramic Bead, Short |
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| 55 | 16-00098-00 | 14-02032 | Wire, Insulated, Ceramic Bead, Long |
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| 56 | 16-00123-00 | 14-02033 | Bellows, Welment | ||||||||||||||||||||
| 57 | 16-033931-00 | 14-02034 | Showerhead, 200 mm, AL6061 | ||||||||||||||||||||
| 58 | 16-257038-00 | 14-02035 | Showerhead, 200 mm, AL3003 | ||||||||||||||||||||
| 59 | 17-00148-00 | 15-02001 | Spring, Fork | ||||||||||||||||||||
| 60 | 19-00056-00 | 15-02002 | Assy, Feedthrugh | ||||||||||||||||||||
| 61 | 19-00117-00 | 15-02003 | Assy,Bellows,Welded | ||||||||||||||||||||
| 62 | 19-00227-00 | 15-02004 | Controller, Pres, Throttle Valve (LL) | ||||||||||||||||||||
| 63 | 19-00307-00 | 15-02005 | Bellows, Lift Pin | ||||||||||||||||||||
| 64 | 19-033267-00 | 15-02009 | Bellows, Lift Pin |
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| 65 | 19-034573-04 | 15-02011 | Bearing, Linear/Rotary 1" WTM | ||||||||||||||||||||
| 66 | 20-00153-00 | 15-02012 | Ball Heater Support 2" Ceramic | ||||||||||||||||||||
| 67 | 21-106421-01 | 15-02013 | Cylinder, Concentric,SPD-S | ||||||||||||||||||||
| 68 | 22-00006-00 | 15-02014 | Filter, Wafergard, L-P Mini,1/4"VCR | ||||||||||||||||||||
| 69 | 22-00179-00 | 15-02015 | Elbow Union 3/8" O-Seal | ||||||||||||||||||||
| 70 | 22-10369-00 | 15-02016 | Indexer Rotate Cylinder | ||||||||||||||||||||
| 71 | 22-132390-00 | 15-02017 | Vacuum Pressure Sensor Switch | ||||||||||||||||||||
| 72 | 27-00010-01 | 15-02018 | Thermocouple Type J 1/8" | ||||||||||||||||||||
| 73 | 27-00062-00 | 15-02019 | Guage, Vacuum Pressure, TC | ||||||||||||||||||||
| 74 | 27-00079-00 | 15-02020 | Thermocouple Type J 1/16" | ||||||||||||||||||||
| 75 | 27-00117-01 | 15-02021 | Controller, Temperature, E type | ||||||||||||||||||||
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